怎样预防硅芯管表面氧化夹层的形成

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摘要怎么样防备硅芯管(Silicon core tube)外表氧化(oxidation)夹层的形成(formation)? 防备硅管外表氧化(oxidation)夹层的形成(forma...

怎么样防备硅芯管(Silicon core tube)外表氧化(oxidation)夹层的形成(formation)?
防备硅管外表氧化(oxidation)夹层的形成(formation),需增强以下几个方面的因素控制:
1、关于硅芯腐蚀(corrosion)工序,严格(strict)控制最好的腐蚀(corrosion)条件(condition);
2、关于启动时的氢气,严格(strict)控制其露点与含氧量,保证(ensure)其纯度为高纯;
3、可以(Sure)在硅芯击穿后,恰当提高硅芯外表温度,温度越高越好,但要保证(ensure)不能超过硅芯熔点;
4、可以(Sure)在起始进料时提高硅芯外表温度,原理同上。

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